本发明提供一种扩散炉，包括：反应腔室，沿第一方向延伸，反应腔室具有排气端，多个晶圆能够沿第一方向依次设置，晶圆表面沿第二方向延伸，第二方向与第一方向垂直或呈一锐角；多个气体管道，贯通反应腔室的侧壁，以将外部反应气体引入反应腔室，气体通道自排气端沿第一方向分布，气体通道的轴心与第二方向具有一锐角夹角。本发明通过气体通道的倾斜设计使得自所述气体通道喷出的反应气体能够直达晶圆的中心，从而解决了沉积过程中两边厚中间薄的问题，而由于排气端排气的作用，反应气体到达晶圆中间会向两边扩散，同时晶舟旋转加速气体的扩散，使得单片晶圆表面中心与边缘沉积的膜层的厚度更加均匀，提高产品良率。