公开了一种用于在衬底上选择性沉积材料的方法，其中该衬底具有至少两个不同的表面，其中一个表面被钝化从而允许在未钝化的表面上选择性沉积。特别地，公开了一种用于制备用于选择性膜沉积的衬底表面的方法，其中所述衬底的表面包含至少第一表面和第二表面，所述第一表面包含SiO₂和初始浓度的表面羟基基团，所述第二表面包含SiH，该方法包括以下步骤：使衬底与湿化学组合物接触以获得处理的衬底，其相对于所述初始浓度的表面羟基基团包含增加浓度的表面羟基基团；和将所述处理的衬底加热至约200℃至约600℃的温度，其中所述加热步骤将所述第一表面上的至少一部分的所述表面羟基基团转化为所述衬底的表面上的表面硅氧烷基团。