一种低温无催化剂气相沉积制备四针状氧化锌纳米棒的方法
专利权的终止
摘要

本发明提供了一种低温无催化剂气相沉积制备四针状氧化锌纳米棒的方法,属于纳米材料制备技术领域。工艺为:将硅(100)基片用去离子水和酒精分别冲洗干净,作为沉积基片;将Zn粉放置于瓷舟中,然后将硅基片倒扣于瓷舟上,把瓷舟放入管式炉中的石英管中部,使用流量计调节通入石英管中的氩气和氧气的总流量及两种气体的比例。在此气氛下将管式炉升温至600℃~700℃,然后保温20~25分钟,之后取出硅片,其上沉积的白色绒状物即为所需产品。本发明的优点在于:实现了无催化剂、低温制备四针状ZnO纳米棒,并保证产品质量高、可控性好、形貌丰富,具备规模化生产的前景。

基本信息
专利标题 :
一种低温无催化剂气相沉积制备四针状氧化锌纳米棒的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1821053A
申请号 :
CN200610011195.5
公开(公告)日 :
2006-08-23
申请日 :
2006-01-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张跃戴英黄运华贺建刘娟张晓梅齐俊杰廖庆亮
申请人 :
北京科技大学
申请人地址 :
100083北京市海淀区学院路30号
代理机构 :
北京科大华谊专利代理事务所
代理人 :
刘月娥
优先权 :
CN200610011195.5
主分类号 :
B82B3/00
IPC分类号 :
B82B3/00  C23C16/455  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B82
超微技术
B82B
通过操纵单个原子、分子或作为孤立单元的极少量原子或分子的集合而形成的纳米结构;其制造或处理
B82B3/00
通过操纵单个原子、分子或作为孤立单元的极少量原子或分子的集合的纳米结构的制造或处理
法律状态
2015-03-18 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101601341179
IPC(主分类) : B82B 3/00
专利号 : ZL2006100111955
申请日 : 20060113
授权公告日 : 20110119
终止日期 : 20140113
2011-01-19 :
授权
2006-10-18 :
实质审查的生效
2006-08-23 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332