本实用新型提供一种半导体材料的电解抛光装置，包含盛有电解液的电解槽、电解槽盖、阳极、阴极、导线和交流电源、直流电源，其中阳极为欲抛光工件，阴极采用不锈钢，其特征在于：增设光照射装置和控制阳极探入电解液深度的调节装置；其中光照系统包括密封在玻璃管中的灯管，电解液中的导线用玻璃管密封保护，并穿过电解槽盖外接交流电源，玻璃管用支架支撑固定在电解槽中；调节装置包括螺纹套筒和载料块，螺纹套筒的外螺纹与电解槽盖的螺纹孔构成螺栓螺母副，载料块的螺杆与螺纹套筒的内螺纹构成螺栓螺母副；阳极用导电胶粘结于载料块底面；阴极与阳极对应接直流电源的阴极和阳极。