本实用新型公开了一种净化硅烷中微量杂质的净化器，包括液态硅烷原料罐、缓冲罐、分子筛装置、复合催化剂脱氧罐和深度脱水分子筛，上述设备依次串联；液态硅烷原料罐置于超声波发生器之上，罐内设有伸入罐体底部的虹吸管，虹吸管与灌口的气瓶阀门联通；深度脱水分子筛的出气口分为两个接口，其中一个接口可在真空泵和反吹气源间切换；复合催化剂脱氧罐内装复合催化剂。本净化器采用高压液化脱除永久性气体，配合超声波脱气技术，多级吸附剂、混合催化剂串联技术、低温装瓶等技术，可提高脱除永久性气体杂质的效果，克服了低温精馏设备投资大，分子筛净化效果不明显的缺陷。催化剂、吸附再生在系统内完成，可反复使用。