本实用新型涉及氯硅烷的净化领域，公开了一种氯硅烷净化装置，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。净化提存氯硅烷原料。