本实用新型公开了一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：包括柜体，所述柜体通过隔板分为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口、氮气出口和氮气入口，上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连接的流量计和膜片压力表，下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水冷入口和水冷出口，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐，所述冷凝罐与2个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接；本实用新型操作简单，使用安全，外形简洁、美观，工作效率高，并将氮气吹扫、取样一体化设计，达到安全、方便、直观、高效的效果，且便于维护，使用寿命长等特点。