一种多晶硅加工用聚氯硅烷裂解器
授权
摘要
本实用新型提供一种多晶硅加工用聚氯硅烷裂解器,涉及多晶硅制备技术领域,包括内罐体,内罐体的表面设有外罐体,且外罐体与内罐体活动连接,外罐体的表面设有第一进气管和第二进气管,且第一进气管和第二进气管贯穿外罐体,且第一进气管和第二进气管相互垂直,第一进气管和第二进气管位于同一水平面内,内罐体的表面开设有进气槽,外罐体在内罐体的表面可以进行旋转,而内罐体的表面设有进气槽,当需要对进气管进行更换时,转动外罐体,将需要更换的进气管与进气槽交错开,此时,需要更换的进气管与内罐体不连通,而另一个进气管可以正常工作,这种设计使进气管在进行更换时,不需要进行停机更换,提高了生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种多晶硅加工用聚氯硅烷裂解器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123157409.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-15
授权号 :
CN216499264U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
陈杰张为宏别万程琼芝王相才
申请人 :
湖北远春石化设备制造有限公司
申请人地址 :
湖北省荆州市洪湖市曹市镇曹市大道12号
代理机构 :
武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹雄
优先权 :
CN202123157409.9
主分类号 :
B01J19/00
IPC分类号 :
B01J19/00 B01J4/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法,例如,催化作用或胶体化学;其有关设备
B01J19/00
化学的,物理的或物理—化学的一般方法;及其有关设备
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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