本实用新型提供了一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解系统。该裂解系统包括：过滤单元，用于对多晶硅生产副产氯硅烷高沸物进行过滤得到净化高沸物；裂解单元，裂解单元包括裂解反应器，裂解反应器具有依次连通的下部进料段、中部填料段和上部进料段，过滤单元与上部进料段相连用于向裂解反应器提供净化高沸物，中部填料段填充有固体碱负载催化剂，固体碱负载催化剂为大孔树脂负载有机胺催化剂；氯化氢供料单元，与下部进料段相连用于向裂解反应器提供氯化氢。固体碱负载催化剂中作可提高高沸氯硅烷的转化率，同时该催化剂可循环使用，有效地减少了传统的液体有机胺对环境的污染，并节约了催化剂成本。过滤单元可避免无定形硅对催化剂的影响。