一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置，其特征在于：包括冷却装置、第一容器、升温装置和第二容器；所述冷区装置与第一容器连通，所述第一容器上设有第一出气管，所述第一出气管远离第一容器的一端设有第一收集容器；所述第一容器与第二容器通过升温装置连通，所述第二容器上设有第二出气管和第一出液管，所述第二出气管远离第二容器的一端设有第二收集容器，所述第一出液管远离第二容器的一端设有第三收集容器。本实用新型提供了一种可以分离二氯化硅的分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置。

基本信息

专利标题：

一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922164968.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-06

授权号：

CN211602638U

授权日：

2020-09-29

发明人：

姜瓘涛杨利于青玉

申请人：

浙江西亚特电子材料有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市柯城区衢州绿色产业集聚区华荫北路39号

代理机构：

衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

刘奇

优先权：

CN201922164968.9

主分类号：

G01N1/34

IPC分类号：

G01N1/34