本实用新型涉及化学气体的采样设备技术领域，尤其是涉及一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置。本实用新型的技术方案是这样实现的：一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置，包括采集罐、通过进气管与采集罐连通的且用于采集样气的采集组件，所述采集罐上开设有顶部进风口和检修口；其特征在于：所述采集罐内设置有用于提高进气速度的轴流风机组件；所述轴流风机组件包括安装在采集罐上的电源、两个轴流风机单元、用于安装轴流风机单元的安装架以及调整轴流风机单元的位置的正反转电机；各安装架可拆卸安装有若干具有容纳空间的安装筒；所述正反转电机上安装有控制器；本实用新型实用性强，易于推广。