本实用新型公开了一种氯硅烷残液的预处理系统，所述系统包括：氯硅烷残液设备、氮气储罐和液氨供给单元，所述氯硅烷残液设备内自上而下形成排气区、反应区和进料区，并且所述进料区和所述反应区之间设有滤网，所述排气区设有氮气入口和尾气出口，所述进料区设有液态料出口；所述氮气储罐通过第一输气管道与所述氮气入口相连，并且所述第一输气管道上设有第一阀门；所述液氨供给单元包括依次相连的液氨储罐、气化器和减压阀，所述减压阀通过第二输气管道与所述进料区相连，并且所述第二输气管道上设有第二阀门。采用该系统可以解决现有氯硅烷残液设备在检修时氯硅烷残液氮气置换时间长、检修作业烟雾大和残渣处理烟雾大的问题。