并联式氯硅烷尾气回收系统
授权
摘要
本实用新型公开了并联式氯硅烷尾气回收系统，属于多晶硅制造技术领域，其通过布置设置跨接管路，以连通相邻两根回收管路，从而使得整个系统中的氯硅烷尾气回收装置可以共享其处理能力，使其进气余量得到充分的应用，提高了氯硅烷尾气回收装置的使用效率。
基本信息
专利标题 ：
并联式氯硅烷尾气回收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922208544.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN211946289U
授权日 ：
2020-11-17
发明人 ：
袁川江勾护国刘鹏飞
申请人 ：
新疆东方希望新能源有限公司
申请人地址 ：
新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州准东经济技术开发区
代理机构 ：
成都九鼎天元知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩雪
优先权 ：
CN201922208544.8
主分类号 ：
C01B33/107
IPC分类号 ：
C01B33/107
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/08
含卤素的化合物
C01B33/107
卤化硅烷
法律状态
2020-11-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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