本实用新型公开了一种三氯硅烷尾气分离回收装置，包括回收罐和除尘器，所述除尘器一侧设置有进气管，所述除尘器远离所述进气管的一侧设置有传输管，所述传输管远离所述除尘器的一端设置有缓冲罐，所述缓冲罐远离所述除尘器的一侧设置有压缩机，所述压缩机远离所述缓冲罐的一侧设置有冷却器。有益效果在于：通过设计防潮层和海绵层使三氯硅烷不会接触到外来水汽，在存储过程中保持干燥，不会发生反应以及造成危险，通过设计自锁轴、自锁轮和轮槽，使三氯硅烷的回收罐在进行短距离搬运时可以减少工作人员的人数的同时减轻工作量。