一种三氯硅烷尾气分离回收装置
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摘要

本实用新型公开了一种三氯硅烷尾气分离回收装置,包括回收罐和除尘器,所述除尘器一侧设置有进气管,所述除尘器远离所述进气管的一侧设置有传输管,所述传输管远离所述除尘器的一端设置有缓冲罐,所述缓冲罐远离所述除尘器的一侧设置有压缩机,所述压缩机远离所述缓冲罐的一侧设置有冷却器。有益效果在于:通过设计防潮层和海绵层使三氯硅烷不会接触到外来水汽,在存储过程中保持干燥,不会发生反应以及造成危险,通过设计自锁轴、自锁轮和轮槽,使三氯硅烷的回收罐在进行短距离搬运时可以减少工作人员的人数的同时减轻工作量。

基本信息
专利标题 :
一种三氯硅烷尾气分离回收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021513527.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-28
授权号 :
CN212691478U
授权日 :
2021-03-12
发明人 :
郑云峰陈道伟汪玉林余晖
申请人 :
浙江开化合成材料有限公司
申请人地址 :
浙江省衢州市开化县华埠镇新安路10号
代理机构 :
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹玉清
优先权 :
CN202021513527.1
主分类号 :
F17C5/06
IPC分类号 :
F17C5/06  F17C13/00  F17C13/08  F17D1/07  F17D1/20  F17D3/01  F17D3/14  F24H3/02  B01D53/26  
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C
盛装或贮存压缩的、液化的或固化的气体容器;固定容量的贮气罐;将压缩的、液化的或固化的气体灌入容器内,或从容器内排出
F17C5/00
液化、固化或压缩气体装入压力容器的方法和设备
F17C5/06
用于装填压缩气体的
法律状态
2021-03-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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