一种中型二氯硅烷尾气的处理吸收装置
授权
摘要

本实用新型的技术方案是这样实现的:一种中型二氯硅烷尾气的处理吸收装置,其特征在于:包括依次设置的第一反应机构、第二反应机构、吸收机构、第三反应机构以及排放回流机构;所述第一反应机构、第二反应机构、吸收机构和第三反应机构均包括进口管、出口管装以及反应筒,各进口管均穿过对应反应筒顶壁至反应筒底部;所述第一反应机构的进口管上设置有第一阀门;所述排放回流机构包括排气管、回流管以及检测组件,所述检测组件通过排气三通球阀分别与排气管和回流管连接,所述回流管的另一端与所述第一反应机构的进口管连接,本实用新型的有益效果是:结构简单,操作便捷,处理二氯硅烷尾气效果好,效率高。

基本信息
专利标题 :
一种中型二氯硅烷尾气的处理吸收装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922180506.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-06
授权号 :
CN211274202U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
杨利王占峰于青玉
申请人 :
浙江西亚特电子材料有限公司
申请人地址 :
浙江省衢州市柯城区衢州绿色产业集聚区华荫北路39号
代理机构 :
衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘奇
优先权 :
CN201922180506.6
主分类号 :
B01D53/78
IPC分类号 :
B01D53/78  B01D53/70  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法;为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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