一种小型二氯硅烷尾气的处理吸收装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种小型二氯硅烷尾气的处理吸收装置，其特征在于：包括收集装置、溶解装置和反应装置，反应装置包括第一容器和第一出气管，第一容器上开设有第一出气孔和第一进气孔，第一出气管与第一出气孔连通；溶解装置包括第二容器和第二出气管，第二容器上开设有第二出气孔和第二进气孔，第二出气管的一端与第二出气孔连通，第二出气管的另一端插入第一容器；收集装置包括热交换器、第三容器和第三出气管，第三容器上开设有第三进气孔和第三出气孔，第三出气管的一端与第三出气孔连通，第三出气管的另一端插入第二容器，热交换器的热媒出口与第三进气孔连通。本实用新型提供了一种处理效果更好的小型二氯硅烷尾气的处理吸收装置。
基本信息
专利标题 ：
一种小型二氯硅烷尾气的处理吸收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922177861.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-06
授权号 ：
CN211274201U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
于青玉杨利王占峰
申请人 ：
浙江西亚特电子材料有限公司
申请人地址 ：
浙江省衢州市柯城区衢州绿色产业集聚区华荫北路39号
代理机构 ：
衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘奇
优先权 ：
CN201922177861.8
主分类号 ：
B01D53/78
IPC分类号 ：
B01D53/78 B01D53/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/34
废气的化学或生物净化
B01D53/74
净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置
B01D53/77
液相方法
B01D53/78
利用气—液接触
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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