高纯乙硅烷尾气处理装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱，处理箱左端设有进气管，处理箱右端设有出气管，处理箱内左端第一输送管，第一输送管左端与进气管连接，第一输送管内设有过滤板，处理箱内中间设有第二输送管，第二输送管左端与第一输送管右端连接，第二输送管上侧设有输液管，输液管下端连接有喷头，喷头下端伸出第二输送管内，处理箱内右端设有第三输送管，第三输送管左端与第二输送管连接，第三输送管右端与出气管连接，第三输送管内设有吸附板。通过多段输送进行多次处理，提高尾气处理效果，结构简单，使用方便。

基本信息

专利标题：

高纯乙硅烷尾气处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022167753.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-28

授权号：

CN213528099U

授权日：

2021-06-25

发明人：

徐昕俞冬雷王伟

申请人：

南京亚格泰新能源材料有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区长芦街道宁六路606号C栋103室

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司

代理人：

李寰

优先权：

CN202022167753.5

主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D53/78 B01D53/38 B01D46/10 B01D53/04 B01D53/26