本实用新型公开了一种处理甲基氯硅烷尾气的梯级吸收设备。包括文丘里洗涤器、两段洗涤塔，鼓风机，两个储水池以及泵，在文丘里洗涤器和洗涤塔下面分别设有1#储水池和2#储水池，两段洗涤塔通过升气盘将洗涤塔分割为上塔和下塔；在下塔内设有折流板，在下塔塔底设置塔底循环泵，将2#储水池中的吸收液循环至下塔塔顶循环使用；在上塔内设有散堆填料或穿流塔板，在上塔设置中部循环泵，将升气盘上的液体循环至上塔塔顶或中部；在2#储水池和文丘里洗涤器之间设有吸收液泵；两个储水池上部加装盖板，形成半封闭结构，并在盖板上设置风机管路接口与鼓风机连接。本实用新型不仅减少了塔的堵塞问题，而且提高了尾气中甲基氯硅烷以及水解产物氯化氢和硅氧烷的去除效率，保证排放尾气达标。