一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统
授权
摘要
本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统，其包括:气动隔膜计量泵、收集罐、转液泵和事故罐；气动隔膜计量泵的进液口连接有输液管道一；输液管道一的入口处具有过滤网；收集罐的上部具有液体入口一；液体入口一通过输液管道二与气动隔膜计量泵的出液口连通；收集罐的上部具有液体入口二；液体入口二通过输液管道三与废气管网连通；收集罐的上部具有氮气输入口；收集罐的下部具有输出口；转液泵的进液口通过输液管道四与输出口连通；输液管道四上连接有氮气管；转液泵的出液口连接有输液管道五；事故罐通过输液管道六与输液管道五的连接。采用本实用新型能够减少物料浪费，减少对环境的污染。
基本信息
专利标题 ：
一种液体氯硅烷泄漏后的回收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122916544.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216280684U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
任喆祥罗佳林马晓亮马伟春李涛
申请人 ：
新疆大全新能源股份有限公司
申请人地址 ：
新疆维吾尔自治区石河子经济开发区化工新材料产业园纬六路16号
代理机构 ：
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孟阿妮
优先权 ：
CN202122916544.0
主分类号 ：
F17D1/14
IPC分类号 ：
F17D1/14 F17D1/13 F17D3/01 F16L11/12 F16L11/08 B01D35/02 B60P3/22 C01B33/107
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/08
用于液体或黏性物质的
F17D1/14
用泵输送液体或黏性物质的
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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