本实用新型公开了氯硅烷残液的过滤系统，包括：搅拌器、氮气储罐、过滤器和氯硅烷残液储罐，搅拌器设硅藻土入口、四氯化硅入口和混合物出口；氮气储罐通过第一管道与搅拌器相连，第一管道上设第一阀门；过滤器内自上而下限定出净液腔、过滤腔和进料腔，过滤腔内设有沿其轴向布置的滤芯，滤芯下端封闭且侧壁包裹滤布，滤芯的上端口与净液腔连通，净液腔和进料腔之间设压差检测装置，净液腔设氯硅烷清液出口，混合物出口通过第二管道与进料腔连通，第二管道上设第二阀门；氯硅烷残液储罐通过第三管道与进料腔相连，第三管道上设第三阀门。采用该系统可以解决现有技术中氯硅烷残液中无定形硅和氯化铝析出物难以过滤及过滤成本高的问题。