一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置

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摘要

本实用新型涉及一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置，包括采样管道、输入端与采样通道一端连通的抽气装置、气体流速传感器以及采样头，其特征在于：所述采样管道包括具有运输通道的套管、可拆卸安装在套管内壁上且具有运输通道的膜套；所述膜套与套管之间形成密闭空间；所述套管上设置有充气接口；所述充气接口处设置有气压监测装置；所述采样头外设置有套筒；所述套筒一端面开设有进气槽；所述进气槽的底板上开设有与采样头适配的安装口且套筒通过该安装口可拆卸安装在采样头上；所述进气槽的内壁上设置有台阶且台阶远离底板的一面上安装有过滤网。本实用新型实用性强，易于推广。

基本信息

专利标题：

一种分析三氯硅烷金属离子的采样装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922164132.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-06

授权号：

CN211374246U

授权日：

2020-08-28

发明人：

党春梅杨利姜瓘涛

申请人：

浙江西亚特电子材料有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市柯城区衢州绿色产业集聚区华荫北路39号

代理机构：

衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

高永志

优先权：

CN201922164132.9

主分类号：

G01N1/24

IPC分类号：

G01N1/24 G01N1/34