本实用新型公开了一种乙硅烷中金属离子取样装置，其技术方案要点是：包括取样瓶，所述取样瓶的右侧设置有第一过滤瓶，所述第一过滤瓶的右侧设置有第二过滤瓶，所述第二过滤瓶的右侧设置有燃烧塔，所述燃烧塔的右侧设置有第三过滤瓶；四个密封盖，四个所述密封盖分别连接在所述取样瓶、所述第一过滤瓶、所述第二过滤瓶和所述第三过滤瓶的内部，所述密封盖的顶端开设有进气孔，所述密封盖的顶端开设有出气孔，通过设置质量流量计，由于质量流量计连接在检测管的一端，从而使进入检测管内部的乙硅烷样品可以通过质量流量计进行计量，从而便于工作人员后期控制乙硅烷样品流量，便于后期对乙硅烷样品进行取样，减少了取样等待时间。