一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置

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摘要

本实用新型涉及一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，分离装置包括热交换器和第一容器，第一容器的上端面开设有第一进气口、第一出气口、第一进液口和第一出液口，第一进气口粘接有第一球阀，第一出气口粘接有第二球阀，第二球阀与样品容器的输入端连通，热交换器与第一球阀连通，第一进液口粘接有第三球阀，第一出液口粘接有第四球阀；收集装置包括第二容器，第二容器上开设有第二出气口和第二进液口，第二出气口粘接有第五球阀，第二进液口与第四球阀远离第一出液口的一端连通，第五球阀远离第二出气口的一端与大气连通。本实用新型提供了一种操作更加简单的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。

基本信息

专利标题：

一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922164967.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-06

授权号：

CN211179169U

授权日：

2020-08-04

发明人：

于青玉杨利党春梅

申请人：

浙江西亚特电子材料有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市柯城区衢州绿色产业集聚区华荫北路39号

代理机构：

衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

刘奇

优先权：

CN201922164967.4

主分类号：

G01N1/22

IPC分类号：

G01N1/22