硅烷中乙硅烷的分析系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅烷中乙硅烷的分析系统，包括第一阀门、第二阀门、第一色谱柱、第二色谱柱和PDHID脉冲放电检测器；第一阀门上沿环向顺时针依次设置有第一至第十接口；第二阀门上沿环向顺时针依次设置有第十一至第十六接口；第一接口为进样孔，第二接口、第五和第十二接口均为放空孔，第三和第十接口之间连接有定量管，第四、第八和第十五接口均为载气进气孔，第一色谱柱的两端分别连接到第六和第九接口，第二色谱柱的两端分别连接到第七和第十三接口，第十一与第十六接口连通，第十四接口连接到PDHID脉冲放电检测器。本实用新型具有灵敏度高、分离效果好、分析速度快的优点，一个样品检测只需要10分钟左右。

基本信息

专利标题：

硅烷中乙硅烷的分析系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921897244.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-06

授权号：

CN210923596U

授权日：

2020-07-03

发明人：

金向华魏入铎齐相前王新喜许军州

申请人：

苏州金宏气体股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区黄埭镇潘阳工业园安民路6号

代理机构：

苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陆金星

优先权：

CN201921897244.9

主分类号：

G01N30/02

IPC分类号：

G01N30/02 G01N30/64