高纯乙硅烷纯化过滤装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供一种高纯乙硅烷纯化过滤装置，包括罐体，罐体内中间设有隔板，隔板为圆柱形，隔板外侧与罐体内壁之间上下对称设有外孔板，隔板外侧与罐体之间设有螺旋导向板，螺旋导向板设置在外孔板之间，隔板内侧之间上下对称设有内孔板，外孔板之间填充有活性炭，内孔板之间填充有分子筛，罐体内壁和隔板两侧都设有内腔，内腔内填充有冷却液体，罐体上左侧设有进气管，罐体上中间设有出气管。通过设置隔板将罐体内进行分隔，乙硅烷从进气管进入罐体内，依次通过活性炭和分子筛进行吸附，并且通过填充冷却液体进行冷却，提高吸附效果，结构简单，使用便捷。

基本信息

专利标题：

高纯乙硅烷纯化过滤装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022167724.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-28

授权号：

CN213528025U

授权日：

2021-06-25

发明人：

郑春宁王伟俞冬雷

申请人：

南京亚格泰新能源材料有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区长芦街道宁六路606号C栋103室

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司

代理人：

李寰

优先权：

CN202022167724.9

主分类号：

B01D53/04

IPC分类号：

B01D53/04 C01B33/04