本实用新型公开了一种硅烷过滤装置，解决了现有技术中硅烷槽内硅烷中积攒杂质导致影响汽车零件硅烷处理效果的问题，其技术要点是：一种硅烷过滤装置，包括用于循环输送液态硅烷的抽送泵以及同所述抽送泵连接并用于过滤所述液态硅烷的过滤器，所述过滤器包括箱体以及沿液态硅烷流向依次设置在所述箱体内的过滤组件以及灭菌层，所述过滤组件包括沿液态硅烷流向依次间隔设置的杂物筛分板、粗滤板以及精滤板。通过上述方案，实现了液态硅烷在进入过滤器后可在杂物筛分板、粗滤板以及精滤板的三重筛分过滤下得到充分过滤，并在灭菌层作用下保证硅烷质量，使汽车零件处理效果得到保障。