本实用新型提供一种乙硅烷分析后处理装置，包括水喷淋头、单向阀、尾气管、尾气处理箱，单向阀设置在尾气管的中部，尾气管设置在尾气处理箱的中部，水喷淋头设置在尾气处理箱的上端，尾气处理箱下端设置有固废排出管，固废排出管的末端设置有废液槽，尾气处理箱上设置有排液管，排液管连接尾气处理箱和废液槽，尾气处理箱上设置有空气压缩机，通过空气压缩机向尾气处理箱内施加压力。通过水隔绝乙硅烷与空气，保证尾气管的管口畅通，排液管始终有水流出，尾气处理箱内的液面恒定，尾气管在液面以下的固定位置保证了水对尾气管的管口的压力始终相同，且仅有单一固废生成，且固废对环境无害，在水中易沉降，经水淋洗、导出易处理。