一种放空废气中硅烷回收系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种放空废气中硅烷回收系统，包括增压机、深冷装置和废气洗涤塔；增压机的入口与废气出口导通连接，用于对废气进行加压；增压机的第一出口与深冷装置的入口导通连接；深冷装置的气体出口与废气洗涤塔的入口导通连接，深冷装置的液体出口用于排出液体硅烷回收使用。放空废气中硅烷回收系统使用时，将废气输入增压机进行增压后，再进入深冷装置进行冷凝，冷凝后的液体硅烷用于回收使用，而剩余的气体进入废气洗涤塔进行洗涤。本实用新型通过现将废气增压，再进入深冷装置进行冷凝，提高了废气的冷凝率。
基本信息
专利标题 ：
一种放空废气中硅烷回收系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922466713.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN212282940U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
官健袁野刘品强汪云清
申请人 ：
四川永祥多晶硅有限公司
申请人地址 ：
四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张东梅
优先权 ：
CN201922466713.8
主分类号 ：
B01D5/00
IPC分类号 ：
B01D5/00 C01B33/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D5/00
蒸气的冷凝；用冷凝法回收挥发性溶剂
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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