晶圆全自动传输装置
避免重复授权放弃专利权
摘要

本实用新型涉及一种用于在半导体晶圆测试中的晶圆全自动传输装置,按照本实用新型提供的技术方案,在旋转轴上设置的转盘,转盘上设有支架,在支架上横向架设若干根滑轨,在滑轨上滑动连接取片钳,在取片钳下方设有升降板及其升降驱动装置,升降板和固定设置的导杆滑动连接,在升降板上转动连接有检测转轴,检测转轴的顶端部设有吸盘装置,检测转轴与其转动驱动装置相连。本实用新型自动化程度高,取片与放片无需人工操作,降低测试成本。

基本信息
专利标题 :
晶圆全自动传输装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820035161.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-04-14
授权号 :
CN201195639Y
授权日 :
2009-02-18
发明人 :
李玉良孙盘泉董晓清戴京东陈仲宇
申请人 :
无锡市易控系统工程有限公司
申请人地址 :
214028江苏省无锡市新区科技创业园4区2楼200号
代理机构 :
无锡市大为专利商标事务所
代理人 :
曹祖良
优先权 :
CN200820035161.4
主分类号 :
B65G49/07
IPC分类号 :
B65G49/07  G01R31/26  G01R31/28  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G49/00
其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05
用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07
用于半导体晶片的
法律状态
2011-06-15 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101102068917
IPC(主分类) : B65G 49/07
专利号 : ZL2008200351614
申请日 : 20080414
授权公告日 : 20090218
放弃生效日 : 20080414
2009-02-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332