一种晶元全自动传输炉管
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种晶元全自动传输炉管,其结构包括控制器、框架、第一炉管底盘、第一炉管、第一风冷降温器、第二炉管底盘、第二炉管、排气烟囱、第二风冷降温器、装载装置、移动杆,所述控制器右侧底部设有框架。本实用新型的一种晶元全自动传输炉管,通过设置了第一风冷降温器,保温结束后,根据需要,采用风冷加速降温,待温度降至80℃以下,炉管停止工作,解决了现有技术降温速度低,导致加工速度慢的现象,通过设置了装载装置,当需要对晶元进行拿取时,通过装载装置的机械手臂将晶元进行夹起,将晶元放到指定的位置,可以避免晶元温度过高而出现烫伤的情况,解决了加工后温度太高,导致拿取不便的现象。

基本信息
专利标题 :
一种晶元全自动传输炉管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920680996.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-10
授权号 :
CN210198082U
授权日 :
2020-03-27
发明人 :
许煜生
申请人 :
许煜生
申请人地址 :
广东省佛山市南海区大沥盐步镇平地道头村一巷1号整栋
代理机构 :
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 :
杜梦
优先权 :
CN201920680996.3
主分类号 :
F27B17/00
IPC分类号 :
F27B17/00  F27D3/00  F27D9/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2022-04-15 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : F27B 17/00
申请日 : 20190510
授权公告日 : 20200327
终止日期 : 20210510
2020-03-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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