晶元检测设备
授权
摘要

本实用新型公开一种晶元检测设备,包括机架、控制器、滑架、检测载台、压合板以及检测装置;检测装置包括横向滑座、竖向滑座、第一相机、第二相机、第四驱动机构和第五驱动机构,第一相机和第二相机均设置于竖向滑座上,第四驱动机构设置于机架上并带动横向滑座横向来回活动,第五驱动机构设置于横向滑座上并带动竖向滑座竖向来回活动;通过利用第三驱动机构带动压合板活动以及第二驱动机构带动检测载台活动,使得压合板将晶体载板固定在检测载台上并点亮晶元;再通过设置有检测装置检测晶元的点亮状态,并给出NG结果和位置,使得本设备能对封装完成的晶元进行检查,可在NG晶元的返修时给出准确位置信息,降低产品的不良率,同时提高生产效率。

基本信息
专利标题 :
晶元检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122409625.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-30
授权号 :
CN216747961U
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
邱国诚周峻民李浩然曾光富
申请人 :
东莞市德镌精密设备有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城街道桑园工业路17号5栋
代理机构 :
厦门市新华专利商标代理有限公司
代理人 :
吴成开
优先权 :
CN202122409625.1
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26  G01R31/44  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-06-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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