一种晶元缺陷检测装置
授权
摘要
本申请涉及晶元检测仪器的技术领域，特别涉及一种晶元缺陷检测装置，该一种晶元缺陷检测装置包括设有出光口的外壳、设于外壳内的短波红外LED光源、安装于出光口的均光板、以及设于均光板和光源之间的聚光镜，短波红外LED光源包括多个等间距线型排列的LED灯珠，LED灯珠的光源波长在1000~1550nm之间。本申请通过采用上述技术方案，根据检测，短波红外光LED光源发射波长在1000‑1550nm波段的光时，只要通过聚光镜聚光，再经过均光板均光后，射出的红外光与红外线相机结合也可实现检测的功能，且检测效果和精度与激光检测基本一致，且由于LED光源能够通过设置形成面光源，因此，其检测范围大，其与激光相比，能耗也更加低，因此，其检测成本更低。
基本信息
专利标题 ：
一种晶元缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123452014.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216488055U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
张志军危友英
申请人 ：
杭州友嘉光电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市西湖区高技街30号280室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123452014.1
主分类号 ：
H01L25/075
IPC分类号 ：
H01L25/075 H01L33/58 H01L33/46
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L25/00
由多个单个半导体或其他固态器件组成的组装件
H01L25/03
所有包含在H01L27/00至H01L51/00各组中同一小组内的相同类型的器件，例如整流二极管的组装件
H01L25/04
不具有单独容器的器件
H01L25/075
包含在H01L33/00组类型的器件
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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