检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构
授权
摘要
本实用新型提供一种检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构，包含基座、照光单元、影像撷取单元，以及影像判断单元，可将待检测缺陷的硅晶圆设置在所述基座上，由所述照光单元提供所述硅晶圆的照光，并以所述影像撷取单元撷取所述硅晶圆表面的待测影像，再以所述影像判断单元接收并判断所述待测影像中有影像异常处为缺陷，而可自动检测硅晶圆缺陷。
基本信息
专利标题 ：
检测硅晶圆缺陷的自动光学检测机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920994898.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-28
授权号 ：
CN210180940U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
黄冠豪骆玉盛
申请人 ：
华矽创新股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园市
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
郑小粤
优先权 ：
CN201920994898.7
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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