一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置
授权
摘要
一种基于结构光照明频域拓展原理的光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置，包括激光光源、准直透镜、声光调制器、空间滤波器、偏振控制模块、反射镜、光阑、空间光调制器、透镜、遮光板、全息衍射片、分光镜、显微物镜、面阵探测器以及可实现声光调制器、偏振方向控制器、空间光调制器、面阵探测器同步的控制系统。同时，本实用新型还公开了一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测方法，解决了现有激光干涉结构光照明散斑噪声强、成像调制度各向异性的问题，能够自动进行照明光方向与相位同步切换、偏振态实时匹配，提高了系统稳定性，无需对样品特殊处理或添加荧光剂即可实现光学元器件表面缺陷或微结构的超衍射极限尺度快速测量。
基本信息
专利标题 ：
一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022296678.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-15
授权号 ：
CN214150461U
授权日 ：
2021-09-07
发明人 ：
张霖白金玺石振东马骅杨一马可刘丽佳衡斌任寰柴立群
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 ：
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202022296678.2
主分类号 ：
G01N21/88
IPC分类号 ：
G01N21/88 G01N21/95 G02B21/00 G02B21/06 G02B21/36
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2021-09-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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