一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置，包括用于放置待测光学元件的样品台，用于对光学元件进行扫描的成像模块，用于控制样品台、监测成像模块并采集成像模块图像的控制系统，以及对采集图像进行拼接的图像处理系统；所述的成像模块包括散射成像模块、荧光成像模块以及共聚焦荧光成像模块。利用本实用新型，不仅可以得到光学元件全口径的散射图像、荧光图像以及光致发光亚表面缺陷图像；也可以获得缺陷的分布、位置、强度、大小、密度等信息；同时可对关键缺陷区域通过共聚焦模式进行定位及高分辨精检，获得关键缺陷的深度信息，从而为光学元件亚表面缺陷分布提供全面的三维分布特征信息。
基本信息
专利标题 ：
一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020265354.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-06
授权号 ：
CN212059867U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
周晓燕刘红婕黄进王凤蕊刘东孙焕宇王狮凌杨李茗黎维华
申请人 ：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心;浙江大学
申请人地址 ：
四川省绵阳市游仙区绵阳路64号
代理机构 ：
杭州天勤知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭剑
优先权 ：
CN202020265354.X
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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