表面缺陷检查方法及表面缺陷检查装置
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摘要

在作为本发明的一个实施方式的表面缺陷检查装置(1)中,纹理特征图像生成部(43)通过对输入图像实施基于多个空间滤波的滤波处理,从而生成多个纹理特征图像,纹理特征提取部(44)关于输入图像上的各位置分别提取多个纹理特征图像的对应的位置的值,生成图像上的各位置处的特征向量,异常程度计算部(45)关于各个特征向量计算特征向量所成的多维分布中的异常程度,生成表示关于输入图像上的各位置的异常程度的异常程度图像,缺陷候补检测部(46)将异常程度图像中异常程度超过规定值的部分检测为缺陷部或者缺陷候补部。

基本信息
专利标题 :
表面缺陷检查方法及表面缺陷检查装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110431404A
申请号 :
CN201880018467.5
公开(公告)日 :
2019-11-08
申请日 :
2018-02-28
授权号 :
CN110431404B
授权日 :
2022-05-27
发明人 :
腰原敬弘梅垣嘉之大重贵彦
申请人 :
杰富意钢铁株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
苏琳琳
优先权 :
CN201880018467.5
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88  G01N21/892  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-05-27 :
授权
2019-12-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20180228
2019-11-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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