本发明的实施方式涉及缺陷检查装置、方法以及记录介质。提供能够辅助高精度的缺陷检查的缺陷检查装置、方法以及记录介质。实施方式的缺陷检查装置包括存储部、第一取得部、搜索部以及生成部。存储部存储辞典数据，该辞典数据将第一设计图像和第一拍摄图像建立关联而成，所述第一拍摄图像是对基于第一设计数据制造出的没有缺陷的第一检查对象进行拍摄而得到的图像。第一取得部取得基于第二设计数据的第二设计图像。搜索部搜索与第二设计图像类似的第一设计图像。生成部生成参考图像，该参考图像是基于第二设计数据的没有缺陷的情况下的第二检查对象的模拟拍摄图像。第一设计图像包含比第一拍摄图像宽的图像区域的信息。