本发明涉及一种光源装置、表面缺陷检测方法和装置。该光源装置包括：底板，设有出光口；球壳，为半球状轮廓，扣于所述底板，并与所述底板合围成半球形腔体；所述球壳上与所述出光口相对的位置设有观察窗；所述球壳的内壁涂有漫反射涂层；光源，设于所述底板上的预定位置，用于提供光照；所述光照被漫反射涂层进行漫反射后自所述出光口向腔体外出射，形成均匀的照射光；反射‑透射镜，设于所述腔体内，并遮挡在出光口和观察窗之间，用于使反射‑透射镜两侧的光线在射向所述反射‑透射镜时，一部分光线穿透、另一部分光线反射。上述光源装置、表面缺陷检测装置及方法可以避免在进行缺陷检测时看到相机的像，且物体表面的划痕和背景也可以被区分。