一种表面缺陷检测方法及装置

授权

摘要

本发明提供一种表面缺陷检测方法及装置，涉及表面检测技术，表面缺陷检测方法包括：采用显示屏作为发光光源，并使得所述显示屏依次显示多幅亮暗相间图案照射待测物体；收集所述待测物体在所述多幅亮暗相间图案照射下产生的发射光及散射光以获取多幅图像；根据所述多幅图像获取待测物体的表面缺陷；其中，所述亮暗相间图案中的亮图案作为表面缺陷检测的光源，且任意两幅亮暗相间图案中亮图案在显示屏中的位置不同。本发明提供一种表面缺陷检测方法及装置，以获取缺陷对比度增强的图像，提高表面缺陷的检出率。

基本信息

专利标题：

一种表面缺陷检测方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110736751A

申请号：

CN201911075797.0

公开（公告）日：

2020-01-31

申请日：

2019-11-06

授权号：

CN110736751B

授权日：

2022-04-19

发明人：

杨朝兴

申请人：

上海御微半导体技术有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN201911075797.0

主分类号：

G01N21/88

IPC分类号：

G01N21/88 G01N21/95