薄膜缺陷检查方法

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种薄膜缺陷检查方法，其包括：在待测薄膜表面形成一朗缪尔薄膜；利用一光源照射该朗缪尔薄膜，触发薄膜干涉；观察发生薄膜干涉现象的朗缪尔薄膜；依据薄膜干涉原理分析所产生的薄膜干涉图样，在曲线状干涉条纹对应的待测薄膜处存在缺陷，在无干涉条纹出现的对应待测薄膜处不存在缺陷。该检查方法可以放大薄膜的缺陷，从而达到更有效检查的目的。

基本信息

专利标题：

薄膜缺陷检查方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1979136A

申请号：

CN200510102281.2

公开（公告）日：

2007-06-13

申请日：

2005-12-08

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

黄荣龙彭家鹏

申请人：

群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司

申请人地址：

518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200510102281.2

主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/95 B05D1/20