表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序。具备:图像获取单元(10),在一边使被检查物(5)相对于配置于不同位置的照明装置(2a)、(2b)、线传感器(1)相对地移动一边逐个切换来自各照明装置的照明光照射至被检查物时,每当切换来自各照明装置的照明光,就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄,从而在分别位置偏移照明光的切换量的状态下获取多个图像;对位单元(10),将获取到的对应于各照明装置的图像进行对位;以及判别单元(10),从通过对位单元对位的图像中,判别被检查物的表面缺陷。
基本信息
专利标题 :
表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114364973A
申请号 :
CN202080063954.0
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
原田孝仁阿部芳久山田正之
申请人 :
柯尼卡美能达株式会社
申请人地址 :
日本东京都
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
王秀辉
优先权 :
CN202080063954.0
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88 G01N21/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20200828
申请日 : 20200828
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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