提供能够高精度地稳定地检测小的表面缺陷的工件的表面缺陷检测装置等。在使由照明装置引起的明暗图案相对于作为表面缺陷的检测对象的工件而相对地移动的状态下，取得关于所述工件的被测定部位的多个图像，提取暂定缺陷候补。如果在提取了暂定缺陷候补的多个图像中包括暂定缺陷候补的图像的数量存在预先设定的阈值以上，则将暂定缺陷候补决定为缺陷候补。合成包括所决定的缺陷候补的多个图像来制作合成图像，根据所制作的合成图像来进行缺陷检测。