光学元件的缺陷检测方法和缺陷检测装置

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明揭示一种能高精度检测出叠积多个具有透光性的层的光学元件的缺陷的光学元件缺陷检测方法和缺陷检测装置。以相互不同的2个观察角度(θ1、 θ2)检测出亮点(10)的光强度，对检测出的各观察角度(θ1、θ2)的光强度进行比较，并根据缺陷的观察角度与光强度的相关关系，判断缺陷的正当性、即判断是伪缺陷还是真缺陷，从而严格判别该缺陷是真缺陷还是伪缺陷。

基本信息

专利标题：

光学元件的缺陷检测方法和缺陷检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1815206A

申请号：

CN200610004660.2

公开（公告）日：

2006-08-09

申请日：

2006-01-27

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

栗本英治南功治

申请人：

夏普株式会社

申请人地址：

日本大阪府

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沈昭坤

优先权：

CN200610004660.2

主分类号：

G01N21/958

IPC分类号：

G01N21/958 G01N21/88 G01M11/00 G03F1/08