一种基于线光谱共焦技术的光学元件缺陷检测装置及方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于线光谱共焦技术的光学元件缺陷检测装置及方法,照明单元发出的X向线性阵列光线经分束镜反射,再透过色散透镜组后聚焦于待测样品上,不同波长的线性阵列光线经待测样品反射后,再依次通过色散透镜组、分束镜透射耦合,然后从成像接收光纤束的一端进入到Z轴延伸的成像接收光纤束内,成像接收光纤束的另一端与光谱成像单元连接。本发明成像接收光纤束采用光纤线性阵列排布接收方式,可以有效避免杂光干扰和不同通道之间的光信号串扰,以提高系统的横向检测分辨率。本发明采用全反射式结构光谱成像探测方式,消除了色差影响,可适应不同波段范围,从而适应不同种类待测样品的检测需求。
基本信息
专利标题 :
一种基于线光谱共焦技术的光学元件缺陷检测装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486912A
申请号 :
CN202210049943.8
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈明星陈坚吴周令黄明
申请人 :
合肥知常光电科技有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市高新区望江西路800号动漫基地C4楼2层208室
代理机构 :
合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人 :
韩燕
优先权 :
CN202210049943.8
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20220117
申请日 : 20220117
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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