光学部件的缺陷检测方法和缺陷检测装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明揭示一种光学部件的缺陷检测方法和缺陷检测装置，判断部(13)使入射区(19)的叠层方向的尺寸L1大于光学部件(14)的导光层(22)的厚度L2的方式入射。即使检测用的光(18)的入射位置的定位精度低也能入射到导光层(22)。判断部(13)又使检测用的光(18)以小于光学部件(14)的叠层方向的尺寸L3的方式入射。能防止例如灰尘、伤痕等光学部件(14)中叠层方向Z的两个端面的散射因素使检测用的光(18)散射。因此，可通过检测从光学部件(14)出射的光，高精度检测出光学部件(14)的缺陷(25)。
基本信息
专利标题 ：
光学部件的缺陷检测方法和缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1769854A
申请号 ：
CN200510119378.4
公开（公告）日 ：
2006-05-10
申请日 ：
2005-11-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
三宅知之南功治平野兼史中田泰男仓田幸夫
申请人 ：
夏普株式会社
申请人地址 ：
日本大阪府
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沈昭坤
优先权 ：
CN200510119378.4
主分类号 ：
G01M11/00
IPC分类号 ：
G01M11/00 G01N21/88
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2009-11-18 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-07-05 ：
实质审查的生效
2006-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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