光学元件的偏振性能检测方法及检测系统
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摘要

本发明提供一种光学元件的偏振性能检测方法和一种偏振性能检测系统。利用光强‑琼斯矩阵模型分别计算光路系统在离线状态下和在线状态下的重构光强相对于实测光强的变化,基于光强变化和相应的重构后琼斯向量获得Γ矩阵的修正量,在理想Γ矩阵的基础上获得更匹配光学系统真实偏振性能的修正Γ矩阵,实现对偏振性能的标定,进而利用修正后的Γ矩阵可以得到光学元件的琼斯矩阵。根据修正后的Γ矩阵以及相应的琼斯矩阵可以检测该光学元件样品的偏振性能。通过联合离线和在线实测数据标定偏振性能,使所得到的修正Γ矩阵逼近所应用的光学系统的实际偏振性能的真实Γ矩阵,可以精确检测光学系统的偏振性能,进而有利于控制偏振像差,提高成像质量。

基本信息
专利标题 :
光学元件的偏振性能检测方法及检测系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112880987A
申请号 :
CN201911204079.9
公开(公告)日 :
2021-06-01
申请日 :
2019-11-29
授权号 :
CN112880987B
授权日 :
2022-05-03
发明人 :
李淼
申请人 :
上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
王宏婧
优先权 :
CN201911204079.9
主分类号 :
G01M11/04
IPC分类号 :
G01M11/04  G01M11/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/04
••其光学实验台
法律状态
2022-05-03 :
授权
2021-06-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/04
申请日 : 20191129
2021-06-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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