偏振检测标定方法、偏振检测方法及偏振检测装置
授权
摘要
本发明提供一种偏振检测标定方法、偏振检测方法及偏振检测装置，所述偏振检测标定方法主要通过替换多个已知偏振性能的标定样品，对每个标定样品，均多次调整第二波片的角度，获得光强探测器对应于每个标定样品在第二波片的多个角度下的光强矩阵，进而根据光强矩阵与标定样品的琼斯矩阵元素及其复共轭乘积的关系，由光强矩阵以及多个标定样品的偏振性能，标定所述第一偏振片、所述第一波片、所述第二波片以及所述第二偏振片的偏振性能。如此，提高了标定精度，从而也提高了偏振检测的精度。
基本信息
专利标题 ：
偏振检测标定方法、偏振检测方法及偏振检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112285028A
申请号 ：
CN201910677242.7
公开（公告）日 ：
2021-01-29
申请日 ：
2019-07-25
授权号 ：
CN112285028B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
程蕾丽王健
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201910677242.7
主分类号 ：
G01N21/21
IPC分类号 ：
G01N21/21 G01J4/00 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/21
影响偏振的性质
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2021-02-23 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/21
申请日 : 20190725
申请日 : 20190725
2021-01-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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