光学元件表面应力的测量方法以及装置
公开
摘要
本申请提出一种光学元件表面应力的测量方法以及装置，涉及膜基结构元件的偏振、应力测量技术领域，实现测量方法的测量装置包括光源、起偏器、滤波扩束准直器、检偏器、光电探测器等；测量方法包括：获取光电探测器输出的第一信号能量；第一信号能量为光电探测器对载物台上待测元件在测量装置处于第一工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；获取光电探测器输出的第二信号能量；第二信号能量为光电探测器对待测元件在测量装置处于第二工况下发生的反射光进行采集而得到的信号能量；根据第一信号能量确定第一光强分布信息，并根据第二信号能量确定第二光强分布信息；根据第一光强分布信息和第二光强分布信息，获取待测元件的表面应力信息。
基本信息
专利标题 ：
光学元件表面应力的测量方法以及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114370962A
申请号 ：
CN202111562161.6
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2021-12-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
程北朱海斌
申请人 ：
浙江清华柔性电子技术研究院
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号17号楼
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杜月
优先权 ：
CN202111562161.6
主分类号 ：
G01L1/24
IPC分类号 ：
G01L1/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/24
通过测量材料受应力时其光学性质的变化，例如，应用光弹性应力分析
法律状态
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
