缺陷检测装置

授权

摘要

本实用新型提供一种缺陷检测装置。所述缺陷检测装置包括至少两个用于承载测试晶片的工件台、至少两组光学检测组件以及传输系统，每个所述工件台上方对应设置有一组所述光学检测组件，所述传输系统配置为转移测试晶片至任意一个工件台以及从任意一个工件台移走测试晶片。利用所述缺陷检测装置，根据不同检测目的，测试晶片可以分别在不同的工位利用对应的光学检测组件实现相应的检测功能，有助于提高检测效率，并且，工件台和光学检测组件可以根据不同的检测目的独立设计，有助于降低光学检测组件的集成难度，降低设计成本。

基本信息

专利标题：

缺陷检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920917887.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-18

授权号：

CN210294105U

授权日：

2020-04-10

发明人：

林彬覃宗伟

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区张东路1525号

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司

代理人：

王宏婧

优先权：

CN201920917887.9

主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/95 G01N21/88 G01N21/01