一种晶元刷洗机晶元夹持机构

授权

摘要

本实用新型是一种晶元刷洗机晶元夹持机构，其结构包括盘体和沿圆周向均匀安装在盘体边缘上的4个夹子总成，4个夹子总成底面连接下顶盘，4个夹子总成顶端夹取晶元。本实用新型的优点：结构简单设计合理，工作时，下顶7向上运动会打开夹子，下降时，因张力弹簧作用，夹子会夹紧晶元。当晶元高速旋转的时候夹子支架因向心力作用夹子不会打开。实现了在刷洗晶元时对晶元进行有效夹持，可有效满足生产需要。

基本信息

专利标题：

一种晶元刷洗机晶元夹持机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922389401.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-27

授权号：

CN211017048U

授权日：

2020-07-14

发明人：

夏俊东徐海强谭金辉康雷雷

申请人：

吉姆西半导体科技（无锡）有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路58号优谷企业园45号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922389401.1

主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/687 H01L21/67